2025-10-20
إذا كانت مغناطيسات الأراضي النادرة هي "عضلات" معدات أشباه الموصلات، ثم مركبات الأراضي النادرة هي "المكالمات" في مرحلة المعالجة.في "تحويل" رقاقة من رقاقة السيليكون الخام إلى رقاقة، تعتمد كل خطوة من "النحت" على "التشغيل الدقيق" للأراضي النادرة. التلميع الكيميائي الميكانيكي (CMP) هو المثال الأكثر نموذجية.عندما يحتاج سطح رقاقة إلى تحقيق مسطحة على المستوى الذري، تعتمد المواد الهشاشة التقليدية (مثل ثاني أكسيد السيليكون) على "طحن القوة الخام" ، والتي تميل إلى خدش اللوحة ؛ في حين أن ثاني أكسيد السيريوم (CeO)₂في البيئة القليرية، يستخدم أيونات السيريوم (Ce) في المواد الحيوية.3+/Ce4+) على سطح CeO₂تتفاعل مع ثاني أكسيد السيليكون (SiO)₂) لتشكيل سليكات السيريوم القابلة للذوبان، وتحقيق "الإزالة الانتقائية" - معدل إزالة SiO₂هو ثلاثة أضعاف من المواد الهشاشة التقليدية، ومع ذلك فإنه بالكاد يضر المواد المحيطة بها مثل نتريد السيليكون.أكثر من 90٪ من عمليات التلميع العازلة للخنادق الضحلة في جميع أنحاء العالم تستخدم CeO₂وكلاء التلميع، وعملية التلميع الوافر 12 بوصة واحدة تتطلب استهلاك حوالي 10 غرام من CeO عالية النقاء₂(99.99% نقاء)
"الدرع الوقائي" لآلات الحفر يعتمد أيضاً على الأرض النادرة. أثناء عملية الحفر، البلازما الفلورية تآكل مثل "المياه الملكية"ومكونات الكوارتز العادية سوف تتآكل مع الثقوب في أي وقتومع ذلك، فإن أكسيد اليتريوم (Y)₂أوه₃) يمكن أن تشكل الطلاء "حاجز كيميائي" على سطح المكون: أكسيد اليتريوم (Y) لديه استقرار كيميائي قوي للغاية وسوف تشكل فلوريد اليتريوم الكثيف (YF)₃) طبقة واقية في البلازما الفلورية، مما يطيل من عمر المكون من 3 أشهر إلى أكثر من سنة.الغطاء الداخلي لآلات الحفر المتقدمة من TSMC و Samsung مغطاة بالكامل تقريبًا بـ Y₂أوه₃- لا يوجد في الوقت الحالي بديل لهذا النهج "ضد تآكل الأرض النادرة".
حتى مرحلة التفتيش لا يمكن أن تفعل دون الأراضي النادرة. المادة الأساسية للليزر المستخدمة لتحقيق محاذاة الشريحة هي بلور غرانيت الألومنيوم اليتريوم المضغوط بالنيوديميوم (Nd: YAG).3+) يمكن أن تولد 1.064μليزر m، الذي يتم تحويله إلى 355nm ضوء فوق البنفسجي لتحقيق فحص محاذاة مستوى نانومتر. بدون هذا الليزر، لا يمكن "مواءمة" اللوحة بدقة مع القناع،و إنتاج الشريحة سوف ينخفض بأكثر من 90%.
أرسل استفسارك مباشرة إلينا
