Óxido de Háfnio (HfO₂): Dielétricos de Alta-k para Chips, Revestimentos Ópticos, Componentes Cerâmicos Avançados
O óxido de háfnio (HfO₂) é um pó cristalino branco. O óxido de háfnio puro existe em três formas: uma amorfa e duas cristalinas. O óxido de háfnio amorfo pode ser obtido pela calcinação de compostos instáveis, como hidróxido de háfnio e oxicloreto de háfnio, a temperaturas abaixo de 400°C. Quando este óxido de háfnio é aquecido a 450–480°C, ele começa a se transformar em um cristal monoclínico. O aquecimento contínuo a 1000–1650°C leva a um aumento gradual nas constantes da rede e à formação de moléculas tetraméricas de óxido de háfnio. A 1700–1865°C, ele começa a transitar para um sistema cristalino tetragonal.
Áreas de Aplicação
Série de Produtos
Produto |
Código do Produto |
Dados de Segurança |
Dados Técnicos |
Óxido de Háfnio 99,9% | ET-Hf-01 | Óxido de háfnio.pdf | Óxido de Háfnio HfO2 99,9.pdf |
Óxido de Háfnio 99,99% | ET-Hf-02 | Óxido de Háfnio HfO2 99,99.pdf |
Palavra de Sinalização | N/A |
Declarações de Risco | N/A |
Códigos de Perigo | N/A |
Declarações de Precaução | N/A |
Ponto de Fulgor | Não aplicável |
Códigos de Risco | N/A |
Declarações de Segurança | N/A |
Número RTECS | N/A |
Informações de Transporte | NONH |
WGK Alemanha | 3 |
Especificações de Embalagem
Sobre o Óxido de Háfnio
O óxido de háfnio (HfO₂) é um produto da separação zircônio-háfnio. Atualmente, apenas os Estados Unidos e a França produzem óxido de háfnio como subproduto durante a produção de zircônio de grau nuclear. A China desenvolveu a capacidade de produzir zircônio de grau nuclear desde cedo e pode produzir pequenas quantidades de óxido de háfnio. No entanto, a quantidade do produto é escassa e o preço é alto. Como o principal produto químico do háfnio, ele é tipicamente usado como material de revestimento óptico. Quantidades muito pequenas estão começando a ser testadas em circuitos integrados de alta eficiência. A aplicação de óxido de háfnio em campos de ponta ainda precisa ser desenvolvida.
O dióxido de háfnio (HfO₂) é um óxido com uma constante dielétrica relativamente alta. Como material dielétrico, o HfO₂ é considerado um material ideal para substituir as camadas dielétricas tradicionais de SiO₂ em transistores de efeito de campo devido ao seu alto valor de constante dielétrica (~20), grande banda proibida (~5,5eV) e boa estabilidade em substratos de silício. Quando as dimensões dos dispositivos complementares de semicondutor de óxido de metal (CMOS) caem abaixo de 1μm, a tecnologia dielétrica de porta de dióxido de silício tradicional causa problemas como aumento do aquecimento do chip e esgotamento do polissilício. À medida que os tamanhos dos transistores diminuem, os dielétricos de dióxido de silício devem se tornar cada vez mais finos, mas a corrente de fuga aumenta dramaticamente devido aos efeitos quânticos à medida que a espessura do dielétrico de dióxido de silício diminui. Portanto, há uma necessidade urgente de um material mais viável para substituir o dióxido de silício como dielétrico de porta. O dióxido de háfnio é um material cerâmico com uma ampla banda proibida e alta constante dielétrica que recentemente atraiu atenção significativa na indústria, particularmente em microeletrônica, porque pode substituir o dióxido de silício (SiO₂) como a camada isolante de porta em transistores de efeito de campo de semicondutor de óxido de metal (MOSFETs), os dispositivos principais de circuitos integrados baseados em silício, para resolver as limitações de tamanho das estruturas tradicionais de SiO₂/Si em MOSFETs atuais.
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