Aluminium-Scandium-Legierung-Sputtertarget ist ein hochleistungsfähiges Funktionsmaterial aus Seltenerdlegierung, das speziell für die Herstellung von Aluminiumnitrid-piezoelektrischen Filmen für Hochfrequenzfilter verwendet wird. Dieses Produkt wird aus hochreinem Aluminium und Scandium durch präzise Legierungsprozesse hergestellt und zeichnet sich durch eine gleichmäßige Zusammensetzung, stabile Sputterleistung und ausgezeichnete Filmqualität aus, was den elektromechanischen Kopplungskoeffizienten und die Geräteperformance von piezoelektrischen Filmen erheblich verbessert.
Anwendungsbereiche
1. Hochfrequenzfilter: Verwendung für piezoelektrische Funktionsschichten in 5G-Kommunikation, HF-Frontend und Oberflächenwellen-/Bulk-Akustikwellenfiltern.
2. Mikroelektromechanische Systeme (MEMS): Geeignet für Hochleistungs-piezoelektrische Filme in MEMS-Sensoren, Resonatoren und Aktuatoren.
3. Halbleiter-integrierte Bauelemente: Verwendung für CMOS-kompatible piezoelektrische Materialintegration zur Verbesserung der Gesamtgeräteperformance.
4. Forschung und Spezialgeräte: Verwendung für Forschung und Entwicklung neuer piezoelektrischer Materialien, Hochfrequenz-Akustikgeräte und integrierte Elektronik.
Theoretische Eigenschaften
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Attribut |
Wert/Beschreibung |
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Reinheit |
3N (99,9%) |
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Form |
Rechteckiges Target, kreisförmiges Target, kundenspezifisch |
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Größe |
2 Zoll, 8 Zoll, 12 Zoll, kundenspezifisch |
Gesundheits- und Sicherheitsinformationen
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Punkt |
Beschreibung |
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Kontaktschutz |
Tragen Sie während der Arbeit Schutzhandschuhe und eine Schutzbrille, um Haut- oder Augenkontakt zu vermeiden. |
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Inhalationsrisiko |
Staub kann die Atemwege reizen. Es wird empfohlen, in einer belüfteten Umgebung zu arbeiten oder eine Staubmaske zu tragen. |
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Lagerbedingungen |
In einem trockenen, versiegelten Behälter lagern, der mit Inertgas (z. B. Argon) geschützt ist, um Oxidation und Feuchtigkeit zu vermeiden. |
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Notfallmaßnahmen |
Bei Augen- oder Hautkontakt sofort mit Wasser spülen und einen Arzt aufsuchen. Bei Inhalation von Staub in einen gut belüfteten Bereich bringen. |
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Umweltauswirkungen |
Ausgemusterte Targets sollten gemäß den Metallabfallrecyclingbestimmungen behandelt werden, um eine unsachgemäße Entsorgung zu vermeiden. |
Verpackungsspezifikationen
Kundenspezifische Verpackung: Spezielle Verpackungslösungen können je nach Kundenanforderung bereitgestellt werden, einschließlich Vakuumversiegelung, Inertgasschutz und stoßfeste Strukturen.
Über Aluminium-Scandium-Legierung-Sputtertarget
Aluminium-Scandium-Legierung-Sputtertarget ist ein wichtiger Rohstoff für die Herstellung von Hochleistungs-Aluminiumnitrid-piezoelektrischen Filmen. Durch Anpassen des Scandiumgehalts kann der elektromechanische Kopplungskoeffizient des Films effektiv verbessert werden, was die Miniaturisierung, hohe Leistung und CMOS-Prozesskompatibilität von Geräten wie Hochfrequenzfiltern ermöglicht. Dieses Produkt eignet sich für Spitzentechnologie-Entwicklung und Massenproduktionsanwendungen in der 5G-Kommunikation, dem IoT und fortschrittlichen Sensoren.
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