La cible de pulvérisation de l'alliage d'aluminium scandium est un matériau fonctionnel en alliage de terres rares de haute performance spécifiquement utilisé pour préparer des films piézoélectriques de nitrure d'aluminium pour les filtres à haute fréquence.Ce produit est fabriqué à partir d'aluminium et de scandium de haute pureté par des procédés d'alliage de précision, avec une composition uniforme, des performances de pulvérisation stables et une excellente qualité de film,qui améliore considérablement le coefficient d'accouplement électromécanique et les performances du dispositif des films piézoélectriques.
Domaines d'application
1Filtres à haute fréquence: utilisés pour les couches fonctionnelles piézoélectriques dans les communications 5G, les filtres à ondes acoustiques de surface et les filtres à ondes acoustiques en vrac.
2Systèmes microélectromécaniques (MEMS): adaptés aux films piézoélectriques de haute performance dans les capteurs, résonateurs et actionneurs MEMS.
3. Dispositifs intégrés à semi-conducteurs: utilisés pour l'intégration de matériaux piézoélectriques compatibles CMOS afin d'améliorer les performances globales du dispositif.
4.Recherche et dispositifs spéciaux: utilisés pour la recherche et le développement de nouveaux matériaux piézoélectriques, de dispositifs acoustiques à haute fréquence et d'électronique intégrée.
Propriétés théoriques
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Attribut |
Valeur/description |
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La pureté |
3N (99,9%) |
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Forme |
Cible rectangulaire, cible circulaire, sur mesure |
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Taille |
2 pouces, 8 pouces, 12 pouces, sur mesure |
Informations sur la santé et la sécurité
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Nom de l'article |
Définition |
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Protection par contact |
Portez des gants et des lunettes de protection pendant l' opération pour éviter tout contact avec la peau ou les yeux. |
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Risque d' inhalation |
La poussière peut irriter les voies respiratoires, il est recommandé de manipuler dans un environnement ventilé ou de porter un masque antipoussière. |
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Conditions de stockage |
Conserver dans un récipient sec et scellé protégé par un gaz inerte (par exemple, argon) pour éviter l'oxydation et l'humidité. |
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Réaction d'urgence |
En cas de contact avec les yeux ou la peau, rincer immédiatement avec de l'eau et consulter un médecin. |
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Impact sur l'environnement |
Les cibles jetées doivent être traitées conformément aux réglementations sur le recyclage des déchets métalliques afin d'éviter une élimination inappropriée. |
Caractéristiques de l'emballage
Emballage personnalisé: des solutions d'emballage spéciales peuvent être fournies selon les exigences du client, y compris l'étanchéité sous vide, la protection contre les gaz inertes et les structures résistantes aux chocs.
À propos de la cible de pulvérisation en alliage d'aluminium scandium
La cible de pulvérisation de l'alliage d'aluminium scandium est une matière première clé pour la préparation de films piézoélectriques à haute performance de nitrure d'aluminium.le coefficient d'accouplement électromécanique du film peut être efficacement amélioré, permettant la miniaturisation, les performances élevées et la compatibilité des procédés CMOS de dispositifs tels que les filtres à haute fréquence.Ce produit est adapté au développement de pointe et aux applications de production de masse dans les communications 5G, IoT et capteurs avancés.
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