Мишень для магнетронного распыления из алюминиево-скандиевого сплава - это высокоэффективный функциональный материал из редкоземельного сплава, специально используемый для подготовки пьезоэлектрических пленок из нитрида алюминия для высокочастотных фильтров. Этот продукт изготовлен из алюминия и скандия высокой чистоты с использованием прецизионных процессов легирования, характеризуется однородным составом, стабильными характеристиками распыления и превосходным качеством пленки, что значительно улучшает коэффициент электромеханической связи и производительность устройств пьезоэлектрических пленок.
Области применения
1. Высокочастотные фильтры: Используется для пьезоэлектрических функциональных слоев в 5G-связи, RF-передней части и фильтрах поверхностных акустических волн/объемных акустических волн.
2. Микроэлектромеханические системы (MEMS): Подходит для высокопроизводительных пьезоэлектрических пленок в MEMS-датчиках, резонаторах и приводах.
3. Интегрированные полупроводниковые устройства: Используется для интеграции пьезоэлектрических материалов, совместимых с CMOS, для улучшения общей производительности устройства.
4. Исследования и специальные устройства: Используется для исследований и разработок новых пьезоэлектрических материалов, высокочастотных акустических устройств и интегрированной электроники.
Теоретические свойства
|
Атрибут |
Значение/Описание |
|
Чистота |
3N (99,9%) |
|
Форма |
Прямоугольная мишень, круглая мишень, изготовление на заказ |
|
Размер |
2 дюйма, 8 дюймов, 12 дюймов, изготовление на заказ |
Информация о здоровье и безопасности
|
Элемент |
Описание |
|
Защита при контакте |
Во время работы надевайте защитные перчатки и очки, чтобы избежать контакта с кожей или глазами. |
|
Риск вдыхания |
Пыль может раздражать дыхательные пути. Рекомендуется работать в хорошо проветриваемом помещении или надевать респиратор. |
|
Условия хранения |
Хранить в сухом, герметичном контейнере, защищенном инертным газом (например, аргоном), чтобы избежать окисления и влаги. |
|
Действия в чрезвычайных ситуациях |
При попадании в глаза или на кожу немедленно промойте водой и обратитесь за медицинской помощью. При вдыхании пыли перейдите в хорошо проветриваемое помещение. |
|
Воздействие на окружающую среду |
Утилизированные мишени следует обрабатывать в соответствии с правилами переработки металлических отходов, чтобы избежать неправильной утилизации. |
Спецификации упаковки
Индивидуальная упаковка: Могут быть предоставлены специальные упаковочные решения в соответствии с требованиями заказчика, включая вакуумную герметизацию, защиту инертным газом и ударопрочные конструкции.
О мишени для магнетронного распыления из алюминиево-скандиевого сплава
Мишень для магнетронного распыления из алюминиево-скандиевого сплава является ключевым сырьем для подготовки высокопроизводительных пьезоэлектрических пленок из нитрида алюминия. Регулируя содержание скандия, можно эффективно улучшить коэффициент электромеханической связи пленки, обеспечивая миниатюризацию, высокую производительность и совместимость с CMOS-процессом таких устройств, как высокочастотные фильтры. Этот продукт подходит для передовых разработок и массового производства в 5G-связи, IoT и передовых датчиках.
Отправьте ваше дознание сразу в нас
