O alvo de sputtering de liga de alumínio e escândio é um material funcional de liga de terras raras de alto desempenho, especificamente usado para preparar filmes piezoelétricos de nitreto de alumínio para filtros de alta frequência. Este produto é feito de alumínio e escândio de alta pureza através de processos de liga precisos, apresentando composição uniforme, desempenho de sputtering estável e excelente qualidade de filme, o que melhora significativamente o coeficiente de acoplamento eletromecânico e o desempenho do dispositivo dos filmes piezoelétricos.
Áreas de Aplicação
1. Filtros de Alta Frequência: Usado para camadas funcionais piezoelétricas em comunicação 5G, front-end de RF e filtros de ondas acústicas de superfície/ondas acústicas de volume.
2. Sistemas Micro-Eletromecânicos (MEMS): Adequado para filmes piezoelétricos de alto desempenho em sensores, ressonadores e atuadores MEMS.
3. Dispositivos Integrados de Semicondutores: Usado para integração de materiais piezoelétricos compatíveis com CMOS para melhorar o desempenho geral do dispositivo.
4. Pesquisa e Dispositivos Especiais: Usado para pesquisa e desenvolvimento de novos materiais piezoelétricos, dispositivos acústicos de alta frequência e eletrônicos integrados.
Propriedades Teóricas
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Atributo |
Valor/Descrição |
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Pureza |
3N (99,9%) |
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Forma |
Alvo retangular, alvo circular, feito sob medida |
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Tamanho |
2 polegadas, 8 polegadas, 12 polegadas, feito sob medida |
Informações de Saúde e Segurança
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Item |
Descrição |
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Proteção de Contato |
Use luvas e óculos de proteção durante a operação para evitar contato com a pele ou olhos. |
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Risco de Inalação |
Poeira pode irritar o trato respiratório. Recomenda-se manusear em um ambiente ventilado ou usar uma máscara contra poeira. |
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Condições de Armazenamento |
Armazene em um recipiente seco e selado, protegido com gás inerte (por exemplo, argônio) para evitar oxidação e umidade. |
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Resposta de Emergência |
Em caso de contato com os olhos ou pele, enxágue imediatamente com água e procure atendimento médico. Se a poeira for inalada, mova-se para uma área bem ventilada. |
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Impacto Ambiental |
Os alvos descartados devem ser manuseados de acordo com os regulamentos de reciclagem de resíduos metálicos para evitar descarte inadequado. |
Especificações de Embalagem
Embalagem Personalizada: Soluções de embalagem especiais podem ser fornecidas de acordo com os requisitos do cliente, incluindo selagem a vácuo, proteção com gás inerte e estruturas resistentes a choques.
Sobre o Alvo de Sputtering de Liga de Alumínio e Escândio
O alvo de sputtering de liga de alumínio e escândio é uma matéria-prima chave para a preparação de filmes piezoelétricos de nitreto de alumínio de alto desempenho. Ao ajustar o teor de escândio, o coeficiente de acoplamento eletromecânico do filme pode ser efetivamente melhorado, permitindo a miniaturização, alto desempenho e compatibilidade com o processo CMOS de dispositivos como filtros de alta frequência. Este produto é adequado para desenvolvimento de ponta e aplicações de produção em massa em comunicação 5G, IoT e sensores avançados.
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