Мишень для распыления лантана — это функциональный материал высокой чистоты, широко используемый в полупроводниках, оптических покрытиях и исследовательских областях. Продукт изготовлен из лантана высокой чистоты методом прецизионной обработки, обеспечивая превосходную однородность пленки, плотность и стабильность распыления. Подходит для различных процессов нанесения покрытий, таких как магнетронное распыление и ионно-лучевое распыление.
Области применения
1. Чипы памяти для полупроводников: Используется для подготовки пленок оксида лантана с высокой диэлектрической проницаемостью для решения проблем утечки памяти и улучшения производительности устройств. Высокочистые лантановые мишени производят пленки оксида лантана с высокой диэлектрической проницаемостью (24-27) и большим интерфейсным барьером с подложками Si, эффективно решая проблемы утечки в чипах памяти.
2. Оптические покрытия: Используется для инфракрасных оптических компонентов, антибликовых покрытий и покрытий специального стекла.
3. Исследовательские эксперименты: Используется для исследований новых материалов, изучения физики тонких пленок и поверхностной инженерии.
4. Электронные компоненты: Используется для подготовки тонкопленочных резисторов, конденсаторов и датчиков.
Теоретические свойства
|
Атрибут |
Значение/Описание |
|
Чистота |
3N-4N (99,9-99,99%) |
|
Форма |
Прямоугольная мишень, круглая мишень, изготовление на заказ |
|
Размер |
2 дюйма, 8 дюймов, 12 дюймов, изготовление на заказ |
Информация о здоровье и безопасности
|
Элемент |
Описание |
|
Защита при контакте |
Во время работы надевайте защитные перчатки и очки, чтобы избежать контакта с кожей или глазами. |
|
Риск вдыхания |
Пыль может раздражать дыхательные пути. Рекомендуется работать в хорошо проветриваемом помещении или надевать пылезащитную маску. |
|
Условия хранения |
Хранить в сухом, герметичном контейнере, защищенном инертным газом (например, аргоном), чтобы избежать окисления и влаги. |
|
Действия в чрезвычайных ситуациях |
При попадании в глаза или на кожу немедленно промойте водой и обратитесь за медицинской помощью. При вдыхании пыли перейдите в хорошо проветриваемое помещение. |
|
Воздействие на окружающую среду |
Утилизированные мишени следует обрабатывать в соответствии с правилами переработки металлических отходов, чтобы избежать неправильной утилизации. |
Спецификации упаковки
Индивидуальная упаковка: Специальные упаковочные решения могут быть предоставлены в соответствии с требованиями заказчика.
О мишени для распыления лантана
Мишень для распыления лантана является ключевым сырьем для подготовки высококачественных тонких пленок, особенно в области чипов памяти для полупроводников. Полученные пленки оксида лантана с высокой диэлектрической проницаемостью и превосходными интерфейсными свойствами стали важными материалами для решения проблем утечки в микроэлектронных устройствах. Мы предлагаем полный спектр высокочистых, многоразмерных мишеней и поддерживаем индивидуальную обработку для удовлетворения разнообразных потребностей исследований и промышленного производства.
Отправьте ваше дознание сразу в нас
