লিথোগ্রাফি মেশিনের "মাংসপেশী ফাইবার": বিরল পৃথিবীর চুম্বক ন্যানোমিটার স্তরের নির্ভুলতা সমর্থন করে

অর্ধপরিবাহী যন্ত্রপাতিগুলির "মুকুটের রত্ন" লিথোগ্রাফি মেশিনকে প্রায়ই "মানব শিল্পের মুকুটের মুকুট" বলে অভিহিত করা হয়।খুব কম মানুষই জানে যে এর "মুকুট" অবস্থা সম্পূর্ণরূপে বিরল পৃথিবীর চুম্বক দ্বারা সমর্থিতইইউভি লিথোগ্রাফি মেশিনগুলির প্রয়োজন হয় যে সাব-ন্যানোমিটার পজিশনিং যথার্থতা বজায় রেখে ওয়েফার স্টেজটি প্রতি সেকেন্ডে কয়েক মিটার গতিতে সরানো হয়।বিরল পৃথিবীর স্থায়ী চুম্বকের "শক্তিশালী আউটপুট" দ্বারা এই "উচ্চ গতির কিন্তু পাথরের মত শক্ত" আন্দোলন সম্ভব হয়েছে.

নিওডিয়ামিয়াম আয়রন বোরন (এনডিএফইবি) চুম্বকগুলি মূল খেলোয়াড়। নিওডিয়ামিয়াম (এনডি), আয়রন এবং বোরন নিয়ে গঠিত এই খাদটির চৌম্বকীয় শক্তি পণ্য ঐতিহ্যগত চুম্বকের দশগুণেরও বেশি,এটিকে "স্থায়ী চুম্বকের রাজা" উপাধি প্রদান করে." তবে, নিওডিয়াম একা যথেষ্ট নয়ঃ যখন লিথোগ্রাফি মেশিনটি কাজ করছে, তখন মোটরের তাপমাত্রা 100 °C এর বেশি হতে পারে°C, এবং সাধারণ NdFeB চুম্বক এই তাপমাত্রায় "demagnetise এবং কাজ বন্ধ" করবে। এই সময়ে, দুটি বিরল পৃথিবী উপাদান, dysprosium (Dy) এবং terbium (Tb), খেলতে আসে।তারা "উচ্চ তাপমাত্রা স্থিতিস্থাপক" মত কাজ করে," 312 থেকে চুম্বক এর কুরি তাপমাত্রা (demagnetization সমালোচনামূলক বিন্দু) বৃদ্ধি°সি থেকে ৪০০ এর উপরে°C. তথ্য দেখায় যে একটি একক EUV লিথোগ্রাফি মেশিনের জন্য কয়েক ডজন কিলোগ্রাম NdFeB চৌম্বকীয় ইস্পাত প্রয়োজন, যার মধ্যে নিওডিয়ামিয়ম প্রায় 30% এবং ডিসপ্রোসিয়াম এবং টেরবিয়াম প্রতিটি 1% থেকে 3%।এই "ট্র্যাক উপাদান" সরাসরি নির্ধারণ করে যে লিথোগ্রাফি মেশিনটি 0 এর চেয়ে কম অবস্থান ত্রুটি বজায় রেখে প্রতি ঘন্টায় 125 গতিতে ওয়েফারগুলি স্ক্যান করতে পারে কিনা.৩ ন্যানোমিটার (পৃথিবীর ব্যাসার্ধে ১ সেন্টিমিটার ত্রুটির সমান) ।

আরো গুরুত্বপূর্ণ, এই নির্ভরতা প্রায় অপরিহার্য। বর্তমানে চীন বিশ্বের সবচেয়ে উন্নত বিরল পৃথিবীর স্থায়ী চৌম্বক উৎপাদন ক্ষমতা 90% এর বেশি জন্য দায়ী,এবং চীনে বিশ্বব্যাপী ডিসপ্রোসিয়াম এবং টেরবিয়ামের ৭৩% এবং ৪০% রয়েছেবিরল পৃথিবীর চুম্বক ছাড়া, লিথোগ্রাফি মেশিনের ওয়েফার স্টেজ "পার্কিনসন রোগী," এবং এটা অসম্ভব হবে এমনকি 28 ন্যানোমিটার প্রসেস স্থিতিশীল ভর উত্পাদন করতে৩ ন্যানোমিটারের কথা বাদ দিয়ে।