2025-10-17
半導体 機器 の "宝石"である リトグラフィ 機械 は,しばしば"人類 産業 の 宝石"と 称え られ て い ます.稀有地磁石によって完全に支持されていることを知っている人は少ないEUVリトグラフィーマシンでは,ワッファーステージが秒数メートルで移動し,ナノメートル未満の位置付け精度を保持する必要があります.この"高速 な 動き が 岩 の よう に 固い"こと は,希少 地 の 永久 磁石 の"強烈 な 発力"によって 可能 に なり ます.
ネオジウム鉄ボロン (NdFeB) マグネットは,コアプレイヤーです.ネオジウム (Nd),鉄,ボロンから構成されるこの合金には,伝統的な磁石の10倍以上の磁気エネルギー製品があります."永久磁石の王"の称号を得ましたしかし,ネオジムだけでは不十分です.リトグラフィーマシンが動作しているとき,モーターの温度が100度を超えることがあります.°この温度では,二種類の稀土元素,ディスプロシウム (Dy) とテリビウム (Tb) が作用します."高温安定剤"のような働きをする磁石のキュリー温度 (消磁化の臨界点) を 312 から°Cから400以上°C.データによると,EUVリトグラフィーマシン"台には数万キログラムのNdFeB磁気鋼が使用され,ネオジミウムは約30%を占め,ディスプロシウムとテリビウムはそれぞれ1%から3%を占める.これらの"痕跡要素"は,リトグラフィー機器が位置位置誤差を0未満にして,1時間125速度でウエフルをスキャンできるかどうかを直接決定します.3ナノメートル (地球の直径の1センチメートルの誤差に相当する).
極めて重要なことに この依存は ほぼ不可替わります 現在 中国は 最先端の稀土永久磁石の 世界生産能力の 90%以上を占めていますそして中国は世界のディスプロシウムとテリビウム資源の73%と40%を保有しています稀土磁石がなければ リトグラフィーのウエファーステージは "パーキンソン病患者""28ナノメートルのプロセスでも 安定した大量生産は不可能だ"3ナノメートルのものとは言えません
私達にあなたの照会を直接送りなさい
