"Жемчужину короны" полупроводникового оборудования, литографическую машину, часто называют "жемчужиной короны человеческой промышленности".Мало кто знает, что его статус "жемчужины" полностью поддерживается редкоземельными магнитами.Устройства литографии EUV требуют, чтобы этапа пластинки двигалась со скоростью нескольких метров в секунду при сохранении точности позиционирования ниже нанометра.Это "быстрое, но твердое движение" возможно благодаря "сильному действию" редкоземельных постоянных магнитов.
Неодимовый магнит железового бора (NdFeB) является основным игроком.Заслуживает звания "Король постоянных магнитов"Однако неодима в одиночку недостаточно: при работе литографической машины температура двигателя может превышать 100 °C.°При такой температуре магниты C и обычные магниты NdFeB "демагнитизируются и перестают работать".Они действуют как "высокотемпературные стабилизаторы," повышение температуры Кюри (критической точки демогнетизации) магнита с 312°C до более 400°C. Данные показывают, что для одной литографической машины EUV требуется десятки килограммов магнитной стали NdFeB, на которую приходится около 30% неодима, а на диспрозий и тербий - от 1% до 3%.Эти "элементы следа" напрямую определяют, может ли литографическая машина сканировать пластины со скоростью 125 в час, сохраняя погрешность позиционирования менее 0.3 нанометров (эквивалентно ошибке 1 сантиметра в диаметре Земли).
В настоящее время на Китай приходится более 90% мировой производственной мощности самых передовых редкоземельных постоянных магнитов,и Китай владеет 73% и 40% мировых запасов диспрозия и тербияБез редкоземельных магнитов, вафельная стадия литографической машины стала бы "пациентом Паркинсона," и было бы невозможно стабильно производить массовые процессы даже на 28 нанометров, не говоря уже о трехнанометровых.
Ваше сообщение должно содержать от 20 до 3000 символов!
