"Juweł korony" sprzętu półprzewodnikowego, maszyna litograficzna, jest często nazywana "perłą na koronie przemysłu ludzkiego".Niewiele osób wie, że jego status "perły" jest całkowicie wspierany przez magnesy ziem rzadkich.Maszyny litograficzne EUV wymagają, aby etap płytki poruszał się z prędkością kilku metrów na sekundę przy zachowaniu dokładności pozycjonowania poniżej nanometru.Ten "wysokiej prędkości, ale solidny jak skała" ruch jest możliwy dzięki "silnej mocy" trwałych magnesów rzadkich ziem.
Magnesy neodymowego żelaza z borem (NdFeB) są głównymi graczami.Zyskał tytuł "króla magnetów stałych".Jednakże sam neodym nie jest wystarczający: podczas pracy maszyny litograficznej temperatura silnika może przekroczyć 100 °C.°W tym momencie w grę wchodzą dwa pierwiastki ziem rzadkich, dysprosium (Dy) i terbium (Tb).Działają jak "stabilizatory wysokiej temperatury"," podnosząc temperaturę Curie (punkt krytyczny demagnetyzacji) magnesu z 312°C do ponad 400°C. Dane pokazują, że do jednej maszyny litograficznej EUV potrzeba kilkudziesięciu kilogramów stali magnetycznej NdFeB, z czego około 30% stanowi neodym, a dysproz i terbium od 1% do 3%."Elementy śladowe" te bezpośrednio określają, czy maszyna litograficzna może skanować płytki z prędkością 125 ppm przy zachowaniu błędu pozycjonowania mniejszego niż 0.3 nanometry (równoważne błędowi 1 cm średnicy Ziemi).
Obecnie na Chiny odpowiada ponad 90% światowej mocy produkcyjnej najnowocześniejszych trwałych magnesów ziem rzadkich.a Chiny posiadają odpowiednio 73% i 40% światowych zasobów dysprozu i terbiu.Bez rzadkoziemnych magnesów, faza płytkowa maszyny litograficznej stałaby się "pacjentem Parkinsona," i byłoby niemożliwe do stabilnej masowej produkcji nawet 28-nanometrowych procesówNie mówiąc już o tych 3 nanometrowych.
Twoja wiadomość musi mieć od 20 do 3000 znaków!
