2025-10-17
반도체 장비 의 "주석"인 리토그래피 기계 는 흔히 "인류 산업 의 주석"이라고 칭송 됩니다.희토류 자석에 의해 "진주"라는 지위가 완전히 뒷받침된다는 것을 아는 사람은 거의 없습니다.EUV 리토그래피 기계는 위퍼 스테이지가 초당 몇 미터로 이동하면서 미만 나노미터 위치 정확성을 유지해야합니다.이 "고속 하지만 바위처럼 단단한" 움직임 은 희토류 영구 자석 의 "강렬한 출력"에 의해 가능 합니다.
네오디미움 철 붕 (NdFeB) 자석 은 핵심 선수 들 이다. 네오디미움 (Nd), 철, 붕으로 구성 된 이 합금 은 전통적인 자석 보다 10 배 이상 자기 에너지 제품 을 가지고 있다."영원 자석의 왕"이라는 칭호를 얻었습니다.그러나 네오디엄만으로는 충분하지 않습니다. 리토그래피 기계가 작동 할 때, 모터 온도는 100 °C를 초과 할 수 있습니다.°이 온도 에서, 두 가지 희토류 원소 인 디스프로시오 (Dy) 와 테르비엄 (Tb) 이 작용 합니다.그들은 "고온 안정기"와 같은 역할을 합니다.," 312에서 자석의 퀴리 온도 (demagnetization의 결정적 점) 를 높이는°C에서 400 이상°C. 데이터에 따르면 하나의 EUV 리토그래피 머신에는 수십 킬로그램의 NdFeB 자기 강철이 필요하며, 네오디?? 이 약 30%를 차지하고 디스프로시엄과 테르비엄은 각각 1%에서 3%를 차지합니다.이 "조각 요소"들은 리토그래피 기계가 위치 오류를 0보다 작게 유지하면서 시간당 125의 속도로 웨이퍼를 스캔할 수 있는지 직접 결정한다.3 나노미터 (지구의 지름 1 센티미터의 오류에 해당한다)
더 중요한 것은, 이 의존도가 거의 대체할 수 없다는 것입니다. 현재 중국은 가장 진보된 희토류 영구 자석의 세계 생산 능력의 90% 이상을 차지하고 있습니다.그리고 중국은 세계 디스프로슘과 테르비엄의 73%와 40%를 보유하고 있습니다.희토류 자석이 없다면 리토그래피 기계의 웨이퍼 스테이지가" 그리고 28나노미터 과정조차 안정적으로 대량 생산하는 것은 불가능할 것입니다.3나노미터의 건 말할 것도 없습니다.
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