La "joya de la corona" de los equipos de semiconductores, la máquina de litografía, a menudo se considera la "perla en la corona de la industria humana". Sin embargo, pocas personas saben que su estatus de "perla" se sustenta por completo en imanes de tierras raras. Las máquinas de litografía EUV requieren que la plataforma de la oblea se mueva a varios metros por segundo, manteniendo al mismo tiempo una precisión de posicionamiento subnanométrica. Este movimiento "de alta velocidad pero sólido como una roca" es posible gracias a la "violenta salida" de los imanes permanentes de tierras raras.
Los imanes de neodimio hierro boro (NdFeB) son los actores principales. Esta aleación compuesta de neodimio (Nd), hierro y boro tiene un producto de energía magnética más de diez veces superior al de los imanes tradicionales, lo que le valió el título de "Rey de los Imanes Permanentes". Sin embargo, el neodimio por sí solo no es suficiente: cuando la máquina de litografía está en funcionamiento, la temperatura del motor puede superar los 100°C, y los imanes NdFeB ordinarios se "desmagnetizarán y dejarán de funcionar" a esta temperatura. En este punto, entran en juego dos elementos de tierras raras, el disprosio (Dy) y el terbio (Tb). Actúan como "estabilizadores de alta temperatura", elevando la temperatura de Curie (el punto crítico de desmagnetización) del imán de 312°C a más de 400°C. Los datos muestran que una sola máquina de litografía EUV requiere decenas de kilogramos de acero magnético NdFeB, con el neodimio representando aproximadamente el 30%, y el disprosio y el terbio cada uno entre el 1% y el 3%. Estos "elementos traza" determinan directamente si la máquina de litografía puede escanear obleas a una velocidad de 125 por hora, manteniendo el error de posicionamiento por debajo de 0,3 nanómetros (equivalente a un error de 1 centímetro en el diámetro de la Tierra).
Más crucialmente, esta dependencia es casi insustituible. Actualmente, China representa más del 90% de la capacidad de producción mundial de los imanes permanentes de tierras raras más avanzados, y China posee el 73% y el 40% de las reservas mundiales de disprosio y terbio, respectivamente. Sin imanes de tierras raras, la plataforma de la oblea de la máquina de litografía se convertiría en un "paciente de Parkinson", y sería imposible producir en masa de forma estable incluso procesos de 28 nanómetros, y mucho menos los de 3 nanómetros.
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