«فیبرهای عضلانی» دستگاه‌های لیتوگرافی: آهنرباهای خاکی کمیاب، دقت در سطح نانومتر را پشتیبانی می‌کنند.

"جواهر تاج" تجهیزات نیمه هادی، ماشین لیتوگرافی، اغلب به عنوان "مؤرخ تاج صنعت انسانی" تحسین می شود.تعداد کمی از مردم می دانند که وضعیت "مروارید" آن به طور کامل توسط آهنرباهای زمین های نادر پشتیبانی می شودماشین های لیتوگرافی EUV نیاز به مرحله وافر به سرعت چند متر در ثانیه حرکت می کنند در حالی که دقت موقعیت گذاری زیر نانومتر را حفظ می کنند.این حرکت "سرعت بالا و در عین حال صخره ای است" که توسط "طاقت شدید" آهنرباهای دائمی زمین های نادر امکان پذیر می شود.

مغناطیس های آهن نئودیمیوم بور (NdFeB) بازیگران اصلی هستند. این آلیاژ متشکل از نئودیمیوم (Nd) ، آهن و بور دارای محصول انرژی مغناطیسی بیش از ده برابر مغناطیس های سنتی است.که باعث شد عنوان "پادشاه آهنرباهای دائمی" به آن برسد.با این حال، نئودیمیوم به تنهایی کافی نیست: هنگامی که دستگاه لیتوگرافی در حال کار است، دمای موتور می تواند بیش از 100 °C باشد.°در این درجه حرارت، دو عنصر نادر زمین، دیسپروسیوم (Dy) و تربیوم (Tb) وارد بازی می شوند.اونا مثل "استقرار دهنده هاي دماي بالا" عمل ميکنن،" افزایش دمای کیوری (نقطه بحرانی ازآغربازی) آهنربا از 312°C تا بالاتر از 400°ج. داده ها نشان می دهد که یک دستگاه لیتوگرافی EUV به ده ها کیلوگرم فولاد مغناطیسی NdFeB نیاز دارد که حدود 30 درصد از آن از نئودیمیوم و 1 تا 3 درصد از دیسپروسیوم و تربیوم تشکیل شده است.این "عناصر ردیابی" مستقیماً تعیین می کنند که آیا دستگاه لیتوگرافی می تواند با سرعت 125 در ساعت و در حالی که خطای موقعیت پذیری کمتر از 0 است، وافره ها را اسکن کند.3 نانومتر (معادل یک خطای 1 سانتی متر در قطر زمین)

مهمتر از همه، این وابستگی تقریبا غیر قابل جایگزینی است. در حال حاضر چین بیش از ۹۰ درصد از ظرفیت تولید جهانی از پیشرفته ترین آهنرباهای دائمی زمین های نادر را در اختیار دارد.و چین 73% و 40% ذخایر جهانی دیسپروسیوم و تربیوم را در اختیار داردبدون آهنرباهای زمین های نادر، مرحله وافری دستگاه لیتوگرافی تبدیل به "بیمار پارکینسون" می شود،" و تولید انبوه مستقر حتی در فرآیندهای 28 نانومتری هم غیرممکن خواهد بود، و نه اينکه 3 نانومتر باشه