El objetivo de pulverización de lantano es un material funcional de alta pureza ampliamente utilizado en semiconductores, recubrimientos ópticos y campos de investigación.El producto está hecho de metal de lantano de alta pureza mediante un procesamiento de precisión, con una excelente uniformidad de la película, densidad y estabilidad de pulverización. Es adecuado para varios procesos de recubrimiento, como el pulverización por magnetrones y el pulverización por haces iónicos.
Áreas de aplicación
1Chips de memoria de semiconductores: Se utilizan para preparar películas de óxido de lantano de alta constante dieléctrica para resolver problemas de fuga de memoria y mejorar el rendimiento del dispositivo.Los objetivos de lantano de alta pureza producen películas de óxido de lantano con una constante dieléctrica alta (24-27) y una gran barrera de interfaz con sustratos de Si, solucionando eficazmente los problemas de fuga en los chips de memoria.
2.Revestimientos ópticos: Se utilizan para componentes ópticos infrarrojos, recubrimientos antirreflejos y recubrimientos especiales de vidrio.
3Experimentos de investigación: se utiliza para la investigación de nuevos materiales, estudios de física de películas finas e ingeniería de superficies.
4.Componentes electrónicos: Se utilizan para preparar resistencias de película delgada, condensadores y sensores.
Propiedades teóricas
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Atributo |
Valor/Descripción |
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La pureza |
3N-4N (99,9 a 99,99%) |
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Forma de las piezas |
Objetivo rectangular, objetivo circular, hecho a medida |
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Tamaño |
2 pulgadas, 8 pulgadas, 12 pulgadas, hechas a medida |
Información sobre salud y seguridad
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Punto de trabajo |
Descripción |
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Protección por contacto |
Use guantes y gafas de protección durante el funcionamiento para evitar el contacto con la piel o los ojos. |
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Riesgo por inhalación |
El polvo puede irritar las vías respiratorias. Se recomienda manipular en un ambiente ventilado o usar una máscara contra el polvo. |
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Condiciones de almacenamiento |
Conservar en un recipiente seco y sellado protegido con gas inerte (por ejemplo, argón) para evitar la oxidación y la humedad. |
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Respuesta de emergencia |
En caso de contacto con los ojos o la piel, enjuague inmediatamente con agua y busque atención médica. |
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Impacto medioambiental |
Los objetivos desechados deben manejarse de acuerdo con las normas de reciclaje de residuos metálicos para evitar una eliminación inadecuada. |
Especificaciones del embalaje
Embalaje personalizado: se pueden proporcionar soluciones de embalaje especiales según los requisitos del cliente.
Sobre el objetivo de pulverización de lantano.
El objetivo de pulverización de lantano es una materia prima clave para la preparación de películas finas de gama alta, especialmente en el campo de los chips de memoria de semiconductores.con alta constante dieléctrica y excelentes propiedades de interfaz, se han convertido en materiales importantes para resolver los problemas de fugas en los dispositivos microelectrónicos.productos objetivo de varios tamaños y apoyo al procesamiento personalizado para satisfacer las diversas necesidades de investigación y producción industrial.
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